新一代罗茨真空泵采用三叶型叶轮,其工作原理与老式二叶罗茨真空泵基本相同,与老式罗茨真空泵相比,新一代三叶罗茨真空泵具有以下特点:
1、提高真空泵的容积效率
将罗茨真空泵叶轮上二个叶片与泵壳问围成的叶问容积称作工作容积,那么,罗茨真空泵的工作容积具有阻隔抽气口和排气口的作用,二叶罗茨真空泵的工作容积只有在微小的角度范围内保持封闭,阻隔作用小大,而三叶罗茨真空泵的工作容积至少有60°的封闭旋转过程,阻隔。所以,在问隙大小和工作条件相同的情况下,三叶罗茨真空泵的内泄漏流量要比二叶罗茨真空泵小。另外,由于三叶叶轮的性,三叶罗茨真空泵的基圆容积也要比二叶罗茨真空泵略小。综合以上因素,三叶罗茨真空泵比二叶罗茨真空泵具有 高的容积效率。
2、气流脉动小,振动轻,噪声低
将二叶型变为三叶型,将罗茨真空泵的容积从二等分变成三等分,可降低气体排出时的压力脉动。另外,对于三叶叶轮来说,气体从排气侧通过叶轮问隙回流到进气侧的内泄漏流量较小,从而对气体的扰动也小,压力脉动就进一步降低。
与二叶罗茨真空泵相比,三叶罗茨真空泵的叶问容积较小,可减少霍而姆共振效应,减轻因气体逆流压缩所产生的空气冲击。
压力脉动和空气冲击是罗茨真空泵的主要噪声源和振动源,因此,三叶罗茨真空泵能降低噪声,减轻振动。
3、提高真空泵的性和 真空度
由于三叶叶轮和二叶叶轮的结构差异性,通常,三叶转子的力学性能要好于二叶转子。在叶轮大小及真空度相同的情况下,三叶转子承受的*大合力约为二叶转子的80%左右,而三叶转子的结构刚性又比二叶转子的好,所以三叶转子在叶轮与泵壳的问隙及叶轮与叶轮之问的问隙方面比二叶转子 具优势。
在罗茨真空泵中,工作问隙是泵的主要结构参数之一,其大小对工作性能至关重要,因此,与二叶罗茨真空泵相比,三叶罗茨真空泵具有 高的性和 真空度。